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Evaporator(PVD)
Etcher
Asher
CVD

CVD

CME
NE-550EX 實驗與研究開發 CVD Cluster-type PE-CVD System Model：CME
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CMD
NE-550EX 實驗與研究開發 CVD 枚葉式電漿CVD裝置 Model：CMD
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CC
NE-550EX 實驗與研究開發 CVD Load-lock Type Plasma Model：CC
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NE-550EX 實驗與研究開發 CVD Load-lock式PLASMA CVD鍍膜設備 Model：CC-200/400
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