為增進此網站功能我們將在您的裝置上傳送Cookies功能。當您繼續瀏覽本網站，我們將推定您已同意使用Cookies，詳見
[隱私權政策]
[使用條款]
。
同意使用
關於我們
ESG方針
產品介紹
依產業區分
依產品區分
半導體
平面顯示器
能源與環境
生技
光學鍍膜
實驗與研究開發
家電、汽車產業
真空熱處理爐
代理產品
邏輯IC與記憶體
先進封裝
通訊與光學應用
功率半導體
MEMS應用
化合物半導體
真空規格品
全系列
Sputter
Etcher
全系列
CVD
Etcher
Sputter
Asher
全系列
Asher
CVD
Etcher
Evaporator (PVD)
Sputter
全系列
Asher
Anneal
CVD
Etcher
Implanter
Sputter
全系列
Asher
CVD
Etcher
Evaporator (PVD)
Sputter
全系列
Asher
Etcher
Evaporator (PVD)
Other
全系列
LCD
OLED
Touch Panel
實驗設備
真空規格品
全系列
CVD
Sputter
R2R (Evaporator)
Other
全系列
CVD
Sputter
Evaporator(PVD)
Other
全系列
CVD
Sputter
Evaporator(PVD)
R2R
Other
全系列
Sputter
CVD
Evaporator(PVD)
Other
全系列
建材
太陽電池、鋰電池
真空規格品
全系列
Sputter
全系列
Sputter
Evaporator(PVD)
Other
全系列
生科、製藥、食品加工
真空規格品
全系列
蒸餾
冷媒乾燥設備
QCM分子間交互作用分析儀
全系列
光學鍍膜
真空規格品
全系列
Sputter
CVD
Evaporator(PVD)
Etcher
Other
全系列
實驗與研究開發
真空規格品
全系列
Sputter
Evaporator(PVD)
Etcher
Asher
CVD
全系列
氦氣充填回收裝置
高壓氣密裝置
冷媒充填裝置
真空規格品
全系列
汽車空調換熱器
全系列
空調熱交換器
全系列
常規製冷
全系列
Batch
FHV
FB
FMI
FSC
FHHn
FHH
大氣熱處理爐
全系列
全系列
FHV-1
全系列
全系列
全系列
全系列
全系列
全系列
NGK純水帶電器
NGK陶瓷過濾器
Borer洗淨液
全系列
全系列
全系列
真空規格品
設備
材料
全系列產品
真空幫浦
CRYO PUMP
真空計
RGA 氣體殘留分析儀
測漏儀Leak Detector
電源
高速光譜橢圓儀
水晶震盪式成膜控制器
小型蒸鍍設備
RTA 熱處理、熱電性、熱物性評估設備
真空閥
真空幫浦(低・中真空)
真空幫浦(高真空)
低溫設備
低溫幫浦
低真空
高真空
RGA製程氣體分析儀
氦氣測漏儀
氦氣測漏儀模組
配件
異常放電防止器
EB槍、EB電源
RF電源
MF電源
DC脈衝電源
DC電源
高速光譜橢圓儀
水晶震盪式成膜控制器
小型蒸鍍設備
熱處理・熱物性評估裝置
真空閥
Sputter
CVD
Evaporator(PVD)
Etcher
Asher
Roll to Roll
Anneal
Implanter
真空熱處理爐
全系列
ENTRON
CS
SRH
SME
MLX
SMV
SMD
R2R(SPW)
SIV(內含鍍膜代工詢問)
ULDIS
全系列
CMD
CME
CC
全系列
Zelda
ei(內含鍍膜代工詢問)
selion
R2R(EWD、EWK)
全系列
NE(內含鍍膜代工詢問)
NLD
RISE
INE
全系列
NA(內含鍍膜代工詢問)
全系列
EWD
SPW
全系列
PFS
全系列
IH
SOPHI
全系列
Batch
FHV
FB
FMI
FSC
FHHn
FHH
大氣熱處理爐
濺鍍.蒸鍍用材料
高機能材料
nano metal ink
全系列
IGZO靶材
平面顯示器
半導體電子
高純度真空蒸鍍材料
全系列
[Nb]加速器用超導材料
[Ta][Nb]板
[Ta][Nb]棒.線
[Ta][Nb]管
全系列
微細導線用ink"Ag"系列
低溫燒成型銀ink"L- Ag"系列
微細導線用ink"Au"系列
依產業區分
半導體
邏輯IC與記憶體
全系列
Sputter
Etcher
先進封裝
全系列
CVD
Etcher
Sputter
Asher
通訊與光學應用
全系列
Asher
CVD
Etcher
Evaporator (PVD)
Sputter
功率半導體
全系列
Asher
Anneal
CVD
Etcher
Implanter
Sputter
MEMS應用
全系列
Asher
CVD
Etcher
Evaporator (PVD)
Sputter
化合物半導體
全系列
Asher
Etcher
Evaporator (PVD)
Other
真空規格品
全系列
平面顯示器
LCD
全系列
CVD
Sputter
R2R (Evaporator)
Other
OLED
全系列
CVD
Sputter
Evaporator(PVD)
Other
Touch Panel
全系列
CVD
Sputter
Evaporator(PVD)
R2R
Other
實驗設備
全系列
Sputter
CVD
Evaporator(PVD)
Other
真空規格品
全系列
能源與環境
建材
全系列
Sputter
太陽電池、鋰電池
全系列
Sputter
Evaporator(PVD)
Other
真空規格品
全系列
生技
生科、製藥、食品加工
全系列
蒸餾
冷媒乾燥設備
QCM分子間交互作用分析儀
真空規格品
全系列
光學鍍膜
光學鍍膜
全系列
Sputter
CVD
Evaporator(PVD)
Etcher
Other
真空規格品
全系列
實驗與研究開發
實驗與研究開發
全系列
Sputter
Evaporator(PVD)
Etcher
Asher
CVD
真空規格品
全系列
家電、汽車產業
氦氣充填回收裝置
全系列
汽車空調換熱器
高壓氣密裝置
全系列
空調熱交換器
冷媒充填裝置
全系列
常規製冷
真空規格品
全系列
真空熱處理爐
Batch
全系列
FHV
全系列
FHV-1
FB
全系列
FMI
全系列
FSC
全系列
FHHn
全系列
FHH
全系列
大氣熱處理爐
全系列
代理產品
NGK純水帶電器
全系列
NGK陶瓷過濾器
全系列
Borer洗淨液
全系列
依產品區分
真空規格品
真空幫浦
真空幫浦(低・中真空)
真空幫浦(高真空)
CRYO PUMP
低溫設備
低溫幫浦
真空計
低真空
高真空
RGA 氣體殘留分析儀
RGA製程氣體分析儀
測漏儀Leak Detector
氦氣測漏儀
氦氣測漏儀模組
配件
電源
異常放電防止器
EB槍、EB電源
RF電源
MF電源
DC脈衝電源
DC電源
高速光譜橢圓儀
高速光譜橢圓儀
水晶震盪式成膜控制器
水晶震盪式成膜控制器
小型蒸鍍設備
小型蒸鍍設備
RTA 熱處理、熱電性、熱物性評估設備
熱處理・熱物性評估裝置
真空閥
真空閥
設備
Sputter
全系列
ENTRON
CS
SRH
SME
MLX
SMV
SMD
R2R(SPW)
SIV(內含鍍膜代工詢問)
ULDIS
CVD
全系列
CMD
CME
CC
Evaporator(PVD)
全系列
Zelda
ei(內含鍍膜代工詢問)
selion
R2R(EWD、EWK)
Etcher
全系列
NE(內含鍍膜代工詢問)
NLD
RISE
INE
Asher
全系列
NA(內含鍍膜代工詢問)
Roll to Roll
全系列
EWD
SPW
Anneal
全系列
PFS
Implanter
全系列
IH
SOPHI
真空熱處理爐
全系列
Batch
FHV
FB
FMI
FSC
FHHn
FHH
大氣熱處理爐
材料
濺鍍.蒸鍍用材料
全系列
IGZO靶材
平面顯示器
半導體電子
高純度真空蒸鍍材料
高機能材料
全系列
[Nb]加速器用超導材料
[Ta][Nb]板
[Ta][Nb]棒.線
[Ta][Nb]管
nano metal ink
全系列
微細導線用ink"Ag"系列
低溫燒成型銀ink"L- Ag"系列
微細導線用ink"Au"系列
中古物件
售後服務
研究開發
人力資源
聯絡我們
隱私權政策
使用條款
網站地圖
search
搜尋優貝克網站
PRODUCT
產品介紹
首頁
產品介紹
半導體
MEMS應用
MEMS應用
從各種微型感測器到流路模組、光學電晶體和生物微機電，ULVAC擁有豐富的使用實績並有能力對應所有MEMS製造技術。
Asher
Asher
Asher
CVD
CVD
CVD
PECVD用於沉積多種薄膜，許多製程元件需要PECVD來建立高密的光罩或是緻密的保護膜。ULVAC的化學氣相沉積設備專門用於生產高均勻性和高速率薄膜，可控制薄膜特性，如折射率、應力、電特性和濕化學蝕刻速率。ULVAC PECVD有高密度電漿源, 並可依照製程需求，有高溫低溫兩種成膜機種供選擇，業界實績強， 設備架構從小型至大型的layout靈活度高，可依照不同機型對應2inch~12inch wafer或方形基板。
Etcher
Etcher
Etcher
Evaporator (PVD)
Evaporator (PVD)
Evaporator (PVD)
Sputter
Sputter
Sputter
需要協助嗎？
售後服務
真空小工具
產品介紹
聯絡我們
