真空規格品

渦捲式乾式幫浦 魯式幫浦 隔膜型乾式幫浦 油迴轉真空幫浦 排氣系統 搖動活塞式乾式幫浦 螺旋式乾式幫浦 多級魯式乾式幫浦

油擴散幫浦 排氣系統 渦輪分子幫浦 濺射離子幫浦

極低溫冷凍機 液態氮產生器

二段溫度顯示計 Model：CRYO-U 帶式加熱器 再生氣體配管 壓縮機

Model：SH200 Model：ST200 SC1

Model：SW100 SP1 Model：CCMT-D

基本製程 高壓製程(濺設製程) 氣體分析儀專用軟體 高性能製程 反應性製程

Model：HELIOT900

氦氣測漏儀模組

吸筆 校正瓶（薄膜型） 校正瓶（毛细管型）

DC脈衝電源

選配 光學膜用EB槍 金屬膜用EB槍 EB電源

異常放電防止器

RF電源/匹配切換機 RF電源選配件

小容量DC電源 大容量DC電源

雙陰極用雙極元件(Bipolar unit for dual cathode)

自動型 手動型 崁入型

水晶震盪式成膜控制器 單傳感器 多傳感器

小型蒸鍍設備 濺鍍設備 成膜設備可選配件

手動焊機系列 有機色素關聯設備 表面科學關聯裝置 微生物活性測量系统 紅外鍍金聚焦爐/RTA裝置 氣體分析裝置 熱分析評估系統 鋼鐵 鋼板評估裝置 熱電評估裝置 奈米粒子形成装置 熱導率測量系統 熱物性測定裝置

真空角閥 擺動閥