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功率半導體
綠色能源、EV化的進展，對於大電力的功率半導體的重要度也隨之提升。ULVAC擁有No.1的銷售實績，並以深耕日本功率半導體領域30年以上之經驗提供Si-IGBT薄化晶圓背面離子植入與鍍膜設備、SiC元件之離子植入、鍍膜、蝕刻等專用生產設備。