High Vacuum Evaporation System Model:Ei-Opto

規格

• 適用ウェハー　　：4in ウエハ　φ50㎜±1.0㎜、厚み280±15μm

• チャンバーサイズ：W850mm*D850mm*H1300mm

• 基板フォルダ　　：790㎜φ（4inウェハー*110枚/ドーム）

• EB-gun　　　　 ：EGO-1

• EB電源　　　　　：HPS-1000G-100(10kw)

• 排気系　　　　　 ：ドライポンプ　LR90*1、Cryo　U16P*1

• MFC　　　　　　：O2、50sccm

• 設置サイズ：

  • 本機系　1260W×1700D×1950H　排気系　967W×428D×523H

  • 変圧器   500W×700D×905H　　Cryoコンプレッサ　510W×453D×680H

• 基板加熱機構搭載（最高温度350℃仕様）