VPT-060

VPT-060

在架台上緊密集成了渦輪分子幫浦、乾式幫浦、閥門配管、電氣系統等必要設備,是乾燥型小型的高真空排氣裝置。

特點

    • 完全乾燥的排氣裝置。

    • 安裝空間緊湊。

    • 適合於半導體、分析、檢查、理化、制藥等各領域的潔凈真空環境。

規格

到達壓力

10 -5 Pa

吸氣口

ISO63

質量

17kg

外型寸法

340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)

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優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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* 此為公式計算理論值,僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)
* 此為公式計算理論值,僅供參考。
時間 (T)
=
min
公式 | t = V/S*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 排氣速度 (S)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
排氣速度 (S)
=
L/min
公式 | s = V/t*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 時間 (T)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa