UTM70B

特點

• 安裝方向自由
  安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。

• 搭載控制器
  控制器安裝在主體上，有效地減少了布線並減小了排氣系統的尺寸。

• 高壓縮比・高排氣壓力
  高壓縮比和高背壓操作使得輔助幫浦可以實現小型化。

• 三種法蘭可供選擇
  VG100、ICF152、ISO100-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

• 低噪音
  空載運行時的噪聲在50 dB或更低。（ISO-100法蘭的測量值）

• 清潔真空
  在運行時以及幫浦停止時，碳氫化合物的迴流很少。

• 低噪音
  空載運行時的噪聲在48 dB或更低。（ISO63-K法蘭的測量值）

用途

• 分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統

• 蒸發設備、濺射設備等著排氣系統

• H2、He等輕氣體主排氣系統

規格表