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CRYO-U10HSP

CRYO-U10HSP

Model：CRYO-U，使用了2段式GM冷凍機，能夠製造出高真空的低溫幫浦系列。

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特點

  • 最適合濺射應用。

  • 氬氣容量是現有型號（U10H）的2倍。

  • 再生時間間隔延長意味著更高的可用性。

  • 可以進行多個連接（最多3個）。

規格表

外型尺寸

到達壓力

10-7 Pa

吸氣口

UVG-250,10BANSI

冷卻水流量

氩:1.3×103Pa・L/s

質量

36 Kg

攜手客戶 共創未來

優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)
* 此為公式計算理論值，僅供參考。
時間 (T)
=
min
公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 排氣速度 (S)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
排氣速度 (S)
=
L/min
公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 時間 (T)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
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