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資訊
特點
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臨界背壓設計得很大。
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～10-2 Pa (10-4 torr)台性能非常穩定。
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採用松套法蘭法。（不包括ULK-04A，06A排氣口法蘭）
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幫浦非常容易清潔。（部件好拆卸）
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在輔助幫浦側配備有防止液壓油流出的機構。
用途
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蒸發設備
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高真空實驗設備
規格表
規格
最大排氣速度
5,400L/sec
到達壓力
＜2.6×10 -5Pa
吸氣口
VG350
排氣口
VG80
電源
200V/1Φ V(電壓規格)
冷卻水流量
2.5 L/min
質量
56kg
外型寸法
340(A)240(B)670(H)
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)