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資訊
特點
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可以安裝多種蒸發源（EB、電阻、EB +電阻）。
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因應Process的基板holder（lift‐off，Planetary，Satellite等）。
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可對應Φ2 inch~6 inch基板、矩形基板、Si、化合物、玻璃和陶瓷等材質的基板。
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在液晶觸摸螢幕上集中顯示和進行操作。
- 出色的PC操作性和功能（Recipe功能，數據記錄，Maintenance輔助功能）。
用途
- Power Device等相關化合物
- LED、LD、高速Device
- 各類實驗用
- 其他一般電子部品及零件
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)