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資訊
特點
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枚葉式(Cluster-type)。
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可對應薄型Wafer。
- 非質量分離機。
- *非質量分離機的對比優點
- 1. 低加速、高濃度對應的高產量離子植入裝置
- 2. 相對於舊機型約一半的價格
- 3. 相較於舊機型占地面積約1/3的設計
用途
- Power Device等薄型基板製程、IGBT製程
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)