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資訊
特點
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Cluster設計以僅基板搬送及立式鍍膜的方式，降低particle產生。
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也可提供Inline機台，節省空間的設計。
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針對單獨基板進行個別管理成膜條件設定。
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根據不同成膜物質，可以選擇不同的Cathode(陽極)排列。
- 豐富的經驗與數據，可支援對應各種成膜製程。
用途
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彩色濾光片
- 顯示屏（各式TFT產品、智慧型手機、電視屏幕(2K、4K)、OLED）
型號
| 型式 | G4.5 | G6 | G8.5 | |
| SMD-950X | SMD-1800X | SMD-2400C | ||
| X-type | 直立式 | |||
| 基板尺寸 | 730 X 920 | 1500 X 1850 | 2200 X 2500 | |
| 設備構造 | 1）取/放片 | 2 | 2 | 1 |
| 2）加熱室 | 1 | - | ||
| 3）搬送室 | 1 | 1 | - | |
| 4）濺鍍室 | 2~3 | 2~3 | 4 | |
| 5）position 轉換室 | - | - | 1 | |
| 高真空排氣系統 | 低溫幫浦(Cryo)或渦輪分子幫浦 | 渦輪分子幫浦 | ||
| 基板移載系統 | 1或2段機械手臂 | 2段機械手臂 | 載盤跟Roller搬送系統 | |
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)