PFL-52

PFL-52

ULVAC的PFL型油擴散幫浦的設計基於多年的研究和豐富的製造經驗。被許多高真空生產設備採用,幫浦的實用性能獲得高度評價。

特點

  • 與其他相同口徑的幫浦相比,具有更高的抽速。

  • 加熱器的更換和修理非常容易。

  • 幾乎沒有油蒸汽迴流。

  • 高效且經濟,需要動力少,油也很少。

  • 焊接技術非常好,使用氦氣檢漏儀進行過完整的泄漏測試,因此具有非常高的機械性和真空性。

規格表

最大排氣速度

70,000 L/sec

到達壓力

3.0×10 -4 Pa

吸氣口

52英寸VG相當

排氣口

VG350

電源

200V / 3φ(電壓規格)

冷卻水流量

50 L/min

質量

1400kg

外型寸法

1000(A)2000(B)2845(H)

攜手客戶 共創未來

優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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* 此為公式計算理論值,僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)
* 此為公式計算理論值,僅供參考。
時間 (T)
=
min
公式 | t = V/S*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 排氣速度 (S)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
排氣速度 (S)
=
L/min
公式 | s = V/t*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 時間 (T)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa