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資訊
特點
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可以安裝多種蒸發源（EB，電阻，EB +電阻）。
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根據製程用途之基板Holder（Lift-off、Planetary、SATELIGHT等）。
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與Φ2in〜6基板，矩形基板，Si，化合物，玻璃，各種陶瓷基板兼容。
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在LCD觸摸屏上集中顯示和操作。
- PC具備出色的可操作性和功能（配方功能，數據記錄，維護輔助功能）。
用途
- Power Device等化合物相關產品
- LED，LD，高速Device
- 用於各種實驗
- 其他一般電子零件
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)