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資訊
特點
-
可實現大量量產。
- 可對應大型基板、多種類基板。
- 採用高鍍率&高效能陰極。
- 可對應多種鍍膜方式(DEPO UP/DOWN、AC/DC/RF Sputter)。
- 容易進行設備維護保養。
用途
- 太陽能電池用透明導電膜、背面電極膜、前導膜、緩衝膜
型號
| SPW-030 | SPW-060 | SPW-165 C1 | SPW-165 C2 | |
| Target Material | ITO, Nb2O5, SiO2, Cu and Metal | |||
| Web Width | Max300mm | Max750mm | Max1600mm | |
| Web Thickness（μm） | 25 to 200 | |||
| Web Material | PET, PI, PC, COP and Others | |||
| W/UW Max Diameter | φ300mm | φ400mm /φ700mm | φ900mm | |
| Winding Speed（m/min） | 0.5 to 5.0 | 0.1 to 10 | 0.5 to 10 | |
| Cathode Structure | External | External / Internal | Internal | |
| Number of Cathode | 4sets | 8sets | 16sets | |
| 4Pair | 8Pair | |||
| Power Supply | DC or AC | |||
| Numbar of Main Roller | 1set | 2sets | ||
| MR Temp | -5 to 180ºC | -20 to 80ºC | -20 to 100ºC | |
| -10 to 180ºC | ||||
| Option | Bombard system, Ion Gun and Others | |||
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)