UTM2300A

特點

• 幫浦體和控制器一體化
  幫浦體和控制器之間不需要復雜的布線工作。

• 安裝方向自由
  安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。

• 產品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。

• 廣域大流量設計，適用於輕工藝
  幫浦速可以在25％至100％的範圍內變化，腔室的壓力可以調節。

• 高耐久性和安全性
  已經通過各種安全確認測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。

用途

• 各種設備的主真空排氣系統 ：

• 半導體製造設備

• 蒸發設備

• 濺射設備

• 分析設備

• 實驗設備等

• 研究開發設備

• 不會生成副反應物的輕工藝的主排氣系統

• 替換設備上的有擴散幫浦

• 其他一般高真空排氣用途

規格表