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資訊
特點
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自動移載機、3個Process Modules (Max 5 process modules)、及1個Load-lock。
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可對應多樣性基板尺寸，有效沉積基板尺寸最大可達650mm*650mm。
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低溫製程，另可搭載ESC達到更低溫需求。
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磁石移動式Cathode，良好膜厚均勻性。
- 依據製程需求可搭載 single degas 、 multi degas system。
用途
- PVD
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面板級封裝RDL製程
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)