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生科、製藥、食品加工
真空規格品

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光學鍍膜
真空規格品

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實驗與研究開發
真空規格品

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RGA製程氣體分析儀

高速光譜橢圓儀

水晶震盪式成膜控制器

小型蒸鍍設備

熱處理・熱物性評估裝置

真空閥

依產業區分
- 半導體
  - 邏輯IC與記憶體
    
    全系列
    
    Sputter
    
    Etcher
    
    先進封裝
    
    全系列
    
    CVD
    
    Etcher
    
    Sputter
    
    Asher
    
    通訊與光學應用
    
    全系列
    
    Asher
    
    CVD
    
    Etcher
    
    Evaporator (PVD)
    
    Sputter
    
    功率半導體
    
    全系列
    
    Asher
    
    Anneal
    
    CVD
    
    Etcher
    
    Implanter
    
    Sputter
    
    MEMS應用
    
    全系列
    
    Asher
    
    CVD
    
    Etcher
    
    Evaporator (PVD)
    
    Sputter
    
    化合物半導體
    
    全系列
    
    Asher
    
    Etcher
    
    Evaporator (PVD)
    
    Other
    
    真空規格品
    
    全系列
- 平面顯示器
  - LCD
    
    全系列
    
    CVD
    
    Sputter
    
    R2R (Evaporator)
    
    Other
    
    OLED
    
    全系列
    
    CVD
    
    Sputter
    
    Evaporator(PVD)
    
    Other
    
    Touch Panel
    
    全系列
    
    CVD
    
    Sputter
    
    Evaporator(PVD)
    
    R2R
    
    Other
    
    實驗設備
    
    全系列
    
    Sputter
    
    CVD
    
    Evaporator(PVD)
    
    Other
    
    真空規格品
    
    全系列
- 能源與環境
  - 建材
    
    全系列
    
    Sputter
    
    太陽電池、鋰電池
    
    全系列
    
    Sputter
    
    Evaporator(PVD)
    
    Other
    
    真空規格品
    
    全系列
- 生技
  - 生科、製藥、食品加工
    
    全系列
    
    蒸餾
    
    冷媒乾燥設備
    
    QCM分子間交互作用分析儀
    
    真空規格品
    
    全系列
- 光學鍍膜
  - 光學鍍膜
    
    全系列
    
    Sputter
    
    CVD
    
    Evaporator(PVD)
    
    Etcher
    
    Other
    
    真空規格品
    
    全系列
- 實驗與研究開發
  - 實驗與研究開發
    
    全系列
    
    Sputter
    
    Evaporator(PVD)
    
    Etcher
    
    Asher
    
    CVD
    
    真空規格品
    
    全系列
- 家電、汽車產業
  - 氦氣充填回收裝置
    
    全系列
    
    汽車空調換熱器
    
    高壓氣密裝置
    
    全系列
    
    空調熱交換器
    
    冷媒充填裝置
    
    全系列
    
    常規製冷
    
    真空規格品
    
    全系列
- 真空熱處理爐
  - Batch
    
    全系列
    
    FHV
    
    全系列
    
    FHV-1
    
    FB
    
    全系列
    
    FMI
    
    全系列
    
    FSC
    
    全系列
    
    FHHn
    
    全系列
    
    FHH
    
    全系列
    
    大氣熱處理爐
    
    全系列
- 代理產品
  - NGK純水帶電器
    
    全系列
    
    NGK陶瓷過濾器
    
    全系列
    
    Borer洗淨液
    
    全系列
依產品區分
- 真空規格品
  - 真空幫浦
    
    真空幫浦(低・中真空)
    
    真空幫浦(高真空)
    
    CRYO PUMP
    
    低溫設備
    
    低溫幫浦
    
    真空計
    
    低真空
    
    高真空
    
    RGA 氣體殘留分析儀
    
    RGA製程氣體分析儀
    
    測漏儀Leak Detector
    
    氦氣測漏儀
    
    氦氣測漏儀模組
    
    配件
    
    電源
    
    異常放電防止器
    
    EB槍、EB電源
    
    RF電源
    
    MF電源
    
    DC脈衝電源
    
    DC電源
    
    高速光譜橢圓儀
    
    高速光譜橢圓儀
    
    水晶震盪式成膜控制器
    
    水晶震盪式成膜控制器
    
    小型蒸鍍設備
    
    小型蒸鍍設備
    
    RTA 熱處理、熱電性、熱物性評估設備
    
    熱處理・熱物性評估裝置
    
    真空閥
    
    真空閥
- 設備
  - Sputter
    
    全系列
    
    ENTRON
    
    CS
    
    SRH
    
    SME
    
    MLX
    
    SMV
    
    SMD
    
    R2R(SPW)
    
    SIV(內含鍍膜代工詢問)
    
    ULDIS
    
    CVD
    
    全系列
    
    CMD
    
    CME
    
    CC
    
    Evaporator(PVD)
    
    全系列
    
    Zelda
    
    ei(內含鍍膜代工詢問)
    
    selion
    
    R2R(EWD、EWK)
    
    Etcher
    
    全系列
    
    NE(內含鍍膜代工詢問)
    
    NLD
    
    RISE
    
    INE
    
    Asher
    
    全系列
    
    NA(內含鍍膜代工詢問)
    
    Roll to Roll
    
    全系列
    
    EWD
    
    SPW
    
    Anneal
    
    全系列
    
    PFS
    
    Implanter
    
    全系列
    
    IH
    
    SOPHI
    
    真空熱處理爐
    
    全系列
    
    Batch
    
    FHV
    
    FB
    
    FMI
    
    FSC
    
    FHHn
    
    FHH
    
    大氣熱處理爐
- 材料
  - 濺鍍.蒸鍍用材料
    
    全系列
    
    IGZO靶材
    
    平面顯示器
    
    半導體電子
    
    高純度真空蒸鍍材料
    
    高機能材料
    
    全系列
    
    [Nb]加速器用超導材料
    
    [Ta][Nb]板
    
    [Ta][Nb]棒.線
    
    [Ta][Nb]管
    
    nano metal ink
    
    全系列
    
    微細導線用ink"Ag"系列
    
    低溫燒成型銀ink"L- Ag"系列
    
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