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MFU-20K

MFU-20K

將直流輸出轉換為雙極脈衝輸出的單元

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特點

  • 頻率範圍寬
    可以在10kHz～100kHz的範圍內 ※1

  • 主/從連接允許大容量
    最多可以進行6台並行操作

  • 可以DC輸出
    輸入DC電源的輸出可以照原樣施加到陰極 ※2

用途

  • FPD用反應濺射設備

  • 工業塗層用反應濺射設備

  • 彩色TFT用反應濺射設備

  • 一般濺射設備

規格表

    電源

    AC90 to 264V

    電流值(最大值)

    50A

    質量

    37kg

    外型寸法

    483mm×630mm×177mm

    電壓

    -1200V

    最大功率

    20KW

    振盪頻率

    10k to 100kHz

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    優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    巴 (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
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