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PHS-08N

PHS-08N

此系統是為射頻濺鍍，CVD，蝕刻等使用之電源相位調整而設計。本系統可控制在13.56MHz運行的多台RF電源的輸出相位。

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特點

  • 可以控制多個RF電源的相位。

  • 位移功能可調節陰極之間的差異，以提供具有較少變化的穩定製程。

規格表

    電源

    AC90~240V

    電流值(最大值)

    70VA

    外型寸法

    480×192×49mm

    電壓

    AC90～240V

    振盪頻率

    13.56MHz±0.05%

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    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    巴 (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
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