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資訊
特點
- ZELDA系統針對量產性能進行開發，可搭載ULVAC新開發的蒸發源等，對應各式的功能需求。可對應為G6H以下的基板尺寸。
用途
- 有機EL顯示面板 有機照明
規格
| 設備名稱 | ZELDA 系列 |
| 運用 | 量産 |
| 基板尺寸(MAX) | G6H以下 |
| 装置形態 | Cluster型・In-line型 |
| Tact time | 2min〜 |
| 系統架構 | 前處理 → 電洞層 → 發光層 (R) → 發光層 (G) → 發光層 (B) → 電子輸送層 → 電極層 |
規格
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)