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EGN-206M

EGN-206M

Model：EGN是以提高可維護性為主軸新開發的金屬蒸發用EB槍。 採用平頂結構，減少了EB槍的著膜面積，實現了易維護性。

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特點

  • 採用平頂結構，減小了電子束蒸發源上的成膜面積，便於清洗。

  • 與傳統產品相比，採用新的發射器結構可將零件數量減少到 60%，並便於組裝。

  • 可選擇用於金屬沉積的帶狀光束和用於氧化物/化合物的點狀光束。

  • 將作為設備製造商積累的專有技術反饋到設計中。

用途

  • 電子束蒸發的蒸發源

規格表

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    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    巴 (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
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