EXO-13

EXO-13

此產品被設計為高頻電源的外部振盪源。可以在13.56MHz的單一頻率下輸出額定信號。 此外,此產品具有1~4個BNC輸出端口,最多可對4個電源進行同相高頻振盪。

特點

  • 最多可以同步四個射頻源的相位。

  • 通過消除相移功能實現了低成本。

規格表

    電源

    AC90~110V

    電流值(最大值)

    10VA

    外型寸法

    145×110×44mm

    電壓

    AC90~110V

    振盪頻率

    13.56MHz±0.05%

    攜手客戶 共創未來

    優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

    聯絡我們
    * 此為公式計算理論值,僅供參考。
    (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值,僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 | t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 | s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa