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RMG-1303

RMG-1303

高精度射頻RF電源，標配500Hz～100KHz脈衝射頻輸出功能

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特點

  • 可在低輸出功率下進行控制
    可從 1W 的低輸出進行控制

  • 標配脈衝射頻輸出功能
    標配500Hz～100KHz的脈衝RF輸出功能，可進行低輸出功率控制

  • 標配外同步端子
    用於疊加操作的 13.56MHz 同步信號輸入/輸出
    內置端子（BNC端子）

  • 從 AC100V 到 AC220V 的寬輸入範圍
    單相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 輸入範圍廣

  • 體積小重量輕
    200mm x 200mm x 350mm / 10Kg 小巧輕便的電源

  • 兼容各種標準
    符合 RoHS、CE、KC、SEMI-F47 標準

用途

  • 濺射設備

  • 惰性氣體（濺射,蒸發，熱處理等）

  • CVD設備

  • 等離子清洗裝置

  • 等離子蝕刻設備

  • 等離子灰化裝置

  • 射頻離子源

  • 射頻中和器

電源規格

    規格表

      電源

      AC100V～220V

      電流值(最大值)

      10A

      質量

      10kg

      外型寸法

      200mm×200mm×350mm

      電壓

      2.5KVpp

      最大功率

      0.3KW

      振盪頻率

      13.56MHz

      攜手客戶 共創未來

      優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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      * 此為公式計算理論值，僅供參考。
      巴 (bar)
      千帕(kPa)
      百帕(hPa)
      毫巴(mbar)
      帕斯卡(Pa = N/m2)
      標准大氣壓(atm)
      毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
      磅力/英尺2(lbf/ft2)
      磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
      英吋汞柱(in Hg)
      公斤力/厘米2(kgf/cm2)
      公斤力/米2(kgf/m2)
      毫米水柱(mmH2O)
      * 此為公式計算理論值，僅供參考。
      時間 (T)
      =
      min
      公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
      * 容積 (V)
      L
      * 排氣速度 (S)
      L/min
      * 初期壓力 (P1)
      Pa
      * 最終壓力 (P2)
      Pa
      排氣速度 (S)
      =
      L/min
      公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
      * 容積 (V)
      L
      * 時間 (T)
      L/min
      * 初期壓力 (P1)
      Pa
      * 最終壓力 (P2)
      Pa
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