DIS-252

DIS-252

渦捲式真空幫浦為由一個固定渦輪和一個繞動渦捲渦輪組成。繞動渦旋盤在固定盤內運動,進行排氣的真空幫浦。

特點

  • 結構緊湊,排氣量大。

  • 乾式真空幫浦的最高壓力水平。

  • 內置自動復位型熱保護器等安全設計。

  • 通過空氣沖洗抑制水分凝結。

用途

  • 分析設備

  • 氣體回收系統

  • 塗裝設備

  • TMP的背幫浦

  • 氦氣檢漏儀

  • 半導體製造工藝

規格表

最大排氣速度

240 L/min

到達壓力

1.6Pa

電源

單相, 100V/115V/200V/230V / 三相, 200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V

質量

25kg

外型寸法

264(W) × 397(L) × 338(H)

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* 此為公式計算理論值,僅供參考。
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公斤力/米2(kgf/m2)
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* 此為公式計算理論值,僅供參考。
時間 (T)
=
min
公式 | t = V/S*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 排氣速度 (S)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
排氣速度 (S)
=
L/min
公式 | s = V/t*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 時間 (T)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa