UNECSーPortable

UNECSーPortable

Model:UNECS是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。 採用獨特的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。 我們的產品陣容包括獨特的可擕式,自動式和對應真空環境的設備內置式類型。 UNECS-Portable,測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊,是易於攜帶的可擕式類型。 可用於真空設備現場驗收試驗,可以通過分離樣品台直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。

特點

  • 高速測定:
    獨特的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。

  • 適用於可見光譜:
    波長範圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

  • 緊湊型傳感器單元:
    光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,並且不需要定期維護。

  • 豐富的產品陣容:
    產品陣容應用廣泛,包括如獨特的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環境的內置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數的測量。

規格表

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優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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* 此為公式計算理論值,僅供參考。
(bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)
* 此為公式計算理論值,僅供參考。
時間 (T)
=
min
公式 | t = V/S*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 排氣速度 (S)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa
排氣速度 (S)
=
L/min
公式 | s = V/t*2.303log(P1/P2)
* 容積 (V)
L
* 時間 (T)
L/min
* 初期壓力 (P1)
Pa
* 最終壓力 (P2)
Pa