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資訊
特點
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通過對轉子軸、汽缸和其他關鍵部品進行特殊表面處理，實現了高耐腐蝕性。
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螺旋式轉子軸和ULVAC的獨特設計，確保了高粉末排放。
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可在大氣壓力到到達壓力的整個壓力範圍內連續運轉。
用途
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電子元件和半導體製造設備的真空排氣系統
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蝕刻設備、灰化設備等離子清洗設備等
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真空熱處理爐的真空排氣系統
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燒結爐、滲碳爐等
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鋰電池製造設備的真空排氣系統
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醫療和食品相關設備的真空排氣系統
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冷凍乾燥設備、真空乾燥設備等
規格表
排氣曲線
規格
最大排氣速度
560m3/h
到達壓力
≦0.1Pa
吸氣口
ISO-F-80
排氣口
KF40
專注於
Anti-corrosion
質量
241kg
適合規格
CE、cTUVus
冷卻水流量
>4.0L/min
電源
3相、50/60Hz、AC200-240V±10% または 3相、50/60Hz、AC380-480V±10%
配件
* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)