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EGL-80M

EGL-80M

EGL-80M型EB槍是基於ULVAC多年的技術積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發。 擁有最大輸入功率16kW的4個切換式坩堝，每個坩堝為110cc的大容量，可對應厚膜的高速蒸發

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特點

  • 採用直接作用型的10cc三點切換坩堝，適用於超高真空的小規模生產。

  • 由於電子束被電磁場偏轉，二次電子對成膜體的影響非常小。

  • 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現象並可以順利蒸發。（日本專利831485號.843447號）

  • 電子束270°偏轉，燈絲不會從蒸發材料暴露，因此壽命很長。

  • 發射器組件易於拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。

規格

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    優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    巴 (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
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