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TDS-M202R

TDS-M202R

使用質譜儀對脫離氣體定性分析，通過四極質譜儀分析紅外鍍金聚焦爐使試料升溫時，試料溫度與放出氣體的關係。

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特點

  • 質譜分析可以在10 -5 Pa的高真空下進行測量。

  • 紅外燈加熱，石英反應管是冷壁，幾乎沒有排出的氣體。

  • 具有從高速加熱到低速加熱的廣泛設置範圍，可實現多步加熱和循環加熱。

用途

  • 真空油脂、O-ring等各種真空材料的評估

  • 半導體晶圓、晶元評估

  • 合金、陶瓷、固體材料等的微量氣體分析

  • 產生粉塵的工藝的排氣（Si單晶體上升等）

規格

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    優貝克“技術發展中心”(Tech Development Center)以獨創性設備和自主核心技術,以嶄新的商業模式為客戶開發新製程以及解決現有製程問題。

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    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    巴 (bar)
    千帕(kPa)
    百帕(hPa)
    毫巴(mbar)
    帕斯卡(Pa = N/m2)
    標准大氣壓(atm)
    毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
    磅力/英尺2(lbf/ft2)
    磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
    英吋汞柱(in Hg)
    公斤力/厘米2(kgf/cm2)
    公斤力/米2(kgf/m2)
    毫米水柱(mmH2O)
    * 此為公式計算理論值，僅供參考。
    時間 (T)
    =
    min
    公式 ｜ t = V/S*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 排氣速度 (S)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
    排氣速度 (S)
    =
    L/min
    公式 ｜ s = V/t*2.303log(P1/P2)
    * 容積 (V)
    L
    * 時間 (T)
    L/min
    * 初期壓力 (P1)
    Pa
    * 最終壓力 (P2)
    Pa
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