產品介紹
搜尋優貝克網站
- 首頁
- 產品介紹
- 電源
- RF電源/匹配切換機
- Model：RFS-N
- RFS-1350N
資訊
特點
-
高效率
配有高功率轉換效率的RF電路以節省能量。 -
快速自動匹配
快速演算法實現快速自動匹配。 -
RF電源內置自動匹配功能
只有主機才能進行匹配系統控制。
可通過內置控制器手動控制RF電源和匹配器。 -
靈活的控制
外部模擬控制，可實現串聯通信控制。 -
可靠性高
對作為設備製造商所積累的設計經驗。
用途
-
濺射設備
-
惰性氣體（濺射,蒸發，熱處理等）
-
CVD設備
-
等離子蝕刻設備
-
RF離子源
-
中和劑
規格表
說明影片
規格
電源
AC180～242V
電流值(最大值)
30A
質量
23kg
外型寸法
480mm × 500mm × 150mm
電壓
10KVpp
最大功率
5KW
振盪頻率
13.56MHz
配件
* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)