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資訊
特點
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LR系列：低溫領域
不單是惰性氣體，還特別適用於裝載和卸載室中的排氣，縮短排氣時間以增加產量。 -
HR系列/UR系列：高溫領域
CVD，蝕刻等產生的可升華的廢氣物質可以在氣體狀態下排出。 -
1000毫秒內瞬時中斷。
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符合CE標誌（可選）。
用途
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活性氣體（CVD、乾刻等）
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惰性氣體（濺射,蒸發，熱處理等）
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放入取出室排氣時間縮短（LR系列）
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產生粉塵的工藝的排氣（Si單晶體上升等）
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作為輔助排氣幫浦（渦輪分子幫浦、機械增壓幫浦的輔助排氣）
規格表
;UR3601-TT.png)
規格
最大排氣速度
3200m³/h
到達壓力
0.67 Pa
吸氣口
VG150
排氣口
KF50
電源
三相180~240，380~440(50/60 Hz)
電流值(最大值)
58.4 A
冷卻水流量
>4.0 L/min
質量
660 kg
配件
下載
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* 此為公式計算理論值，僅供參考。
巴 (bar)
千帕(kPa)
百帕(hPa)
毫巴(mbar)
帕斯卡(Pa = N/m2)
標准大氣壓(atm)
毫米汞柱(托)(mm Hg = Torr)
磅力/英尺2(lbf/ft2)
磅力/英寸2(lbf/in2 = PSI)
英吋汞柱(in Hg)
公斤力/厘米2(kgf/cm2)
公斤力/米2(kgf/m2)
毫米水柱(mmH2O)