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電源Pulsed DC Power generators 脈衝直流DC電源

Pulsed DC Power generators 脈衝直流DC電源

簡介

DPG-5P / 10P5KW/ 10KW的脈衝直流反應濺射電源。

此電源可改變負輸出電壓到正電壓,釋放靶材表面所積蓄電子,藉此提高產能。

特點

高產能→減少異常放電,使得可以高功率輸入
降低基材損傷→可以降低ARC引起的基板的破壞 

可逆轉脈衝頻率→ 10kHz ~ 250kHz的範圍內
能夠 master/slave擴大容量→ 多達六台可以並行工作(同型號可用)
對應直流輸出→取消脈衝功能,可輸出直流

 

用途

FPD反應濺鍍設備
工業塗料反應濺鍍設備
彩色TFT反應濺鍍設備

型式

DPG-5P

DPG-10P

 

額定輸入電壓

208VAC

 

輸入電壓波動範圍

187229VAC

 

相位,頻率

三相,50 / 60Hz

 

輸入容量

8KVA

13.5kVA

 

最大額定功率

5KW

10KW

 

額定電流

12.5A

25A

 

額定電壓

650V / 800V 1

 

震盪頻率

10kHz250kHz

 

逆向逆衝寬度

0.4μs 5μs ,0.1μs的刻度可以選擇※2

 

控制方法

定功率控制(P控制)/ 定電流控制(I控制)/ 定電壓控制(V控制)

 

控制精度

額定值的0.5%或是設定值的1%

 

控制保證範圍

定功率控制,額定功率值的10~100

 

同時運行

透過master/slave最多可達6, (限同一機種)

 

外部控制

模擬/ 數位,RS-232CRS-485

 

冷卻方式

強制氣冷

 

尺寸(WxDxH)(不包括突出部分)

483mm × 630mm × 133mm

 

重量

29公斤

36公斤

 

適用標準

CE / SEMI F47 / RoHS指令

 

工作環境溫度5°C40°C(無冷凝)

   

 

操作環境需避免陽光直射,高溫,多塵,振動,腐蝕性氣體

 

 

1155kHz以上的振盪頻率選擇時額定功率為650V

 

 

2:在81KHz以上時的最高逆向脈衝寬度有限制。

 

 

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