VTR-060M/ERH 高擴充型小型蒸鍍機 |
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機種名稱 |
VTR-060M/ERH |
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真空性能 |
極限壓力 |
10-4Pa台(真空腔内無負載時)選配LN2時:1.5×10-3Pa |
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排氣時間 |
大氣壓到4.0×10-3Pa約需20分(真空腔内無負載時) |
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真空槽 |
真空槽 |
圓筒形玻璃罩(φ236mm×H250mm) |
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裝置預留孔 |
7孔(底面) |
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基板/ |
195mm(固定) |
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電極間距離 |
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蒸鍍電源 |
蒸鍍電源構成:1點式 基板尺寸:□50mm(Max□120mm) |
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蒸鍍電源:SEREM/PSE-150C 0~10V, 80A(Max) |
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排氣系統 |
主幫浦:分子幫浦(60L/sec) |
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前级幫浦:油旋片真空幫浦(20L/min) |
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設備 |
尺寸 |
主設備:W428mm×D438mm×H713mm |
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蒸鍍電源:W480mm×D435.3mm×H149mm |
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重量 |
主設備:約50kg 蒸鍍電源:約24kg |
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所需電源 |
主設備:AC100V(單相)0.6kVA |
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蒸鍍電源:AC100V(單相)0.8kVA |
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【特長】全機種日製規格、桌上型小型化、搭載渦輪分子幫浦、標準三點切替式蒸鍍、可選擇兩點共蒸鍍、可選擇基板迴轉機構、可選擇基板加熱機構、可搭配膜厚監控器、操作簡單、保養容易低成本。 【應用】金屬蒸鍍實驗、OLED製程實驗、高真空鍍膜應用。 |
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