VTR-060M/ERH 高擴充型小型蒸鍍機

機種名稱

VTR-060M/ERH

真空性能

極限壓力

10^-4Pa台（真空腔内無負載時）選配LN2時：1.5×10^-3Pa

排氣時間

大氣壓到4.0×10^-3Pa約需20分（真空腔内無負載時）

真空槽

真空槽

圓筒形玻璃罩(φ236mm×H250mm）

裝置預留孔

7孔(底面)

基板／

195mm(固定)

電極間距離

蒸鍍電源

蒸鍍電源構成：１點式　　基板尺寸：□50mm（Max□120mm）

蒸鍍電源：SEREM/PSE-150C　0～10V, 80A(Max)

排氣系統

主幫浦：分子幫浦(60L/sec)

前级幫浦：油旋片真空幫浦(20L/min)

設備

尺寸

主設備：W428mm×D438mm×H713mm

蒸鍍電源：W480mm×D435.3mm×H149mm

重量

主設備：約50kg　蒸鍍電源：約24kg

所需電源

主設備：AC100V（單相）0.6kVA

蒸鍍電源：AC100V（單相）0.8kVA

【特長】全機種日製規格、桌上型小型化、搭載渦輪分子幫浦、標準三點切替式蒸鍍、可選擇兩點共蒸鍍、可選擇基板迴轉機構、可選擇基板加熱機構、可搭配膜厚監控器、操作簡單、保養容易低成本。                                                                             

【應用】金屬蒸鍍實驗、OLED製程實驗、高真空鍍膜應用。