PVI-3000

簡介

1.太陽電池用離子注入製程設備

2.Ion Implanter

特點

1.Low cost
2.Productivity is high
3.Compact
4.Non-mass separation

用途

以離子注入的方式取代原有PSG Spray Coating、Thermal diffusion的製程。
另外，PSG Removal的製程可以被省略。