電漿化學氣相沉積 CC/CME系列

簡介

適用於Silicon系列的絕緣膜,barrier膜等.

特點

1.SiO2,SiNx,SiON,a-Si,TEOS對應可能。

2.低溫成膜用heater搭載後可用於有機EL。

用途

1.power device, LED,LD高速device,有機EL,

2.太陽能,MEMS