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FPD平面顯示器 |
PV 能源產業 |
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FPD用之Target有大型化之趨勢。ULVAC將因應此需求，針對次世代基板尺寸規劃生產體制及品質管理體制。 |
ULVAC 著重於矽薄膜太陽能電池，也可搭載於ULVAC所提供之設備一貫Line。 |
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材料 |
製造方法 |
用途 |
材料 |
用途 |
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Al |
溶解法 |
配線 |
Ag |
for Metal |
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Cu |
溶解法 |
配線 |
Ti (2N7) |
for Metal |
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Ti |
溶解法 |
電極材料 |
Ti (4N) |
for Metal |
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Mo |
粉末燒結 |
電極材料 |
GZO |
for TCO |
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Al Alloy |
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配線 |
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Ag |
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配線 |
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Cr |
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彩色濾光片 |
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ITO |
粉末燒結 |
透明導電層 |
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IGZO |
粉末燒結 |
其他 |
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Cu Alloy |
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其他 |
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Mo Alloy |
粉末燒結 |
其他 |
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