型式 |
VHC -P610 |
RTA3000 |
RTA4000 |
RTA6000 |
RTA8000 |
晶圓尺寸(mmΦ) |
50 |
75 |
100 |
150 |
200 |
溫度範圍(MAX) |
1200℃ |
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加熱速度(MAX) |
50℃/S |
100℃/S |
200℃/S |
200℃/S |
200℃/S |
特點: |
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1.加熱氣氛為真空、氣體、流動氣體、大氣。 |
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應用: |
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1.注入離子後的活性化退火。 |