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冷凍幫浦CRYO PUMP_標準型

CRYO PUMP(冷凍幫浦)

標準型

 

 

 

 

 

 

型式

CRYO-U4H

CRYO-U6H

CRYO-U8H

CRYO-U10H

CRYO-U12H

CRYO-U16

CRYO-U20P

排気速度(20)

N2

L/s

450

750

1,700

2,400

4,000

5,000

10,000

H2

500

1,100

2,700

3,600

6,000

10,000

18,000

Ar

370

620

1,400

2,000

3,300

4,200

8,400

H2O

1,100

2,100

4,000

6,900

9,500

16,000

29,000

到達壓力

Pa(Torr)

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

10-7(10-9 )

最大流量

Ar

PaL/s     (TorrL/s)

1.3×103

1.1×103(7.9)

1.2×103(8.9)

8.0×102(6.0)

2.0×103(15)

1.4×103(11)

1.1×103(8.7)

H2O

 

1.1×102 (0.8)

2.4×102(1.8)

1.5×102(1.1)

4.1×102(3.1)

4.1×102(3.1)

5.0×102(3.7)

排氣容量

Ar

PaL    (TorrL)

1.0×107

5.6×107  (4.2×105)

1.0×108(7.6×105)

1.0×108(7.8×105)

2.1×108(1.6×106)

4.3×108(3.3×106)

5.8×108(4.4×106)

H2O

1.5×103

3.1×105 (2.3×103)

1.0×106(7.6×103)

6.7×105(5.0×103)

9.8×105(7.4×103)

2.4×106(1.8×104)

4.6×106(3.4×104)

冷卻降下時間

min(Hz)

45/50(50/60)

80/70(50/60)

100/90(50/60)

150/135(50/60)

85/75(50/60)

110/100(50/60)

160/140(50/60)

      吸氣口徑

 

UVG-150,UFC-203

UVG-200,6BANSI,UFC-253

UVG-250

UVG-300,10BANSI

UVG-400

UVG-500

    壓縮機機型

 

C10

C10

C15R

C30VR

C30VR

C30VR

        質量

 

Kg

14.5

19

20.8

29

40

61

69

特點

1.可得到其他PUMP無法達成之潔淨高真空狀態。

2.可適用任何氣體之排氣。

3.不需使用液態氮(LN2),運轉成本低。

4.安裝方向不受限制。

5.輕巧設計,節省空間。

6.操作簡單。

7.ION PUMPTURBO分子PUMP相較具有較大之排氣速度。

用途

1.真空蒸著設備

2.SPUTTERING設備

3.ION注入設備

4.半導體PROCESS設備

5.加速器

6.核融合設備

7.表面分析設備

8.SPACE CHAMBER

9.其他要求潔淨高真空、極高真空之設備

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