CCV-1400

簡介

CCV為in-line PECVD機台，用於沈積非晶矽與微結晶矽薄膜。
該機台之設計可提供廠商運用於太陽電池並持有高產出，低成本之特點

特點

1.可用於大尺寸基板(1100x1400mm)

2.高產出效率

3.維護方便

4.低營運成本

用途

沈積非晶矽及微結晶矽薄膜