STD Series sputter

簡介

SDP In-line sputter系列之後繼機種，持續保有ULVAC以往裝置之優點特色。

為ULVAC最新設計之真空In-line sputter裝置。

特點

1.裝置構成單純化，maintenance方便快速。           

2.穩定快速的搬送系統 。                                      

3.更有競爭力的裝置COST。  

用途

TFT-LCD，CF，Touch panel之基板抗反射成膜，

可對應AL、MO、ITO、SIO2、Nb2O5等多種成膜和製程需求。