Organic EL R&D, device prototypes systems
SATELLA

簡介

1.為了對應有機蒸鍍製程的研發需求，Satella採以多個獨立反應室來組成。

2.可以應用於對應全彩裝置的製作，相較Solciet可對應更複雜的應用。

3.Satella有一7角形的搬送室及可以因應需求對應2~4個有機蒸鍍反應室。

4.具有高精度mask對位機構，來對應主動矩陣全彩裝置製作。

5.Satella可對應200mm的正方形基板呎吋。

特點

1.R&D, 裝置的試作

2.Substrate size (max.)：200 mm diameter

用途

OLED 顯示器