金屬濺鍍機_SME系列

簡介

枚葉式高真空濺鍍裝置,研究開發量產用裝置

特點

可直接搬送200mm基板,依照製程不同,最多能擴充3個製程腔體.

用途

開發研究用,量產用,各項金屬層成膜