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渦輪分子幫浦五段磁浮式渦輪分子幫浦

五段磁浮式渦輪分子幫浦  標準型

型式

UTM-350FW

UTM-480FW

UTM-800FW

UTM-1001FW

UTM-1400FW

UTM-2300FW

UTM-3301FW

UTM-3303FH

UTM-6300FH

UTM350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

法蘭口徑

吸氣口

VG100

ICF152

VG150

ICF203

VG150

ICF203

VG200

ICF253

VG250

VG200

ICF253

VG300

VG250

ICF305

VG350

VG500

排氣口

NW25

NW40

排氣速度(L/s)

N2

350

330

480

480

810

740

1000

1000

1490

1360

1300

2730

2230

2110

3300

3300

6300

H2

320

310

340

340

530

520

570

570

890

860

860

1850

1720

1700

2400

2400

5000

最大壓縮比

N2

>1010 (FW/FH)

>109

>109

>109

>108

>1011

>1010

到達壓力  (Pa)

10-7 (FW) / 10-8 (FH)

10-8

10-7

10-8

軸承方式

5軸控制磁浮軸承

軸承溫度

120

冷却方式

空冷/水冷

水冷

建議的前級幫浦(L/min)

290

800

1500

ULVAC turbo分子泵UTM-FW/FH 系列,通過數位化的5軸控制磁浮軸承,實現著高功能、高可靠性、節約能源等優勢性。

特點

1.自我監控能力,通訊功能可用於數位系統的集中控制。

2.轉速可變的特色,可以從 25%至100%進行轉速的調整。

3.應用了優異的抗腐蝕性表面處理。對應嚴苛的製程有內部加熱的(專利)機種以及特殊的表面處理可供選購的(UTM-FW系列)

4.高安全性設計,以減少因設備故障時所造成的損壞。

5.UTM-6300FH是實現世界最大排氣量。(N2:6300L/s

6.UTM-FH 系列是實現氫氣的高壓縮比。由於具有高壓縮高背壓的特性,對背壓的變化有著安定的排氣特性。

7.全機種安裝方向沒有限制(全方位對應),在裝置的裝載時可以發揮最好的效益。

8.實現出色的高背壓特性。可以讓裝置排氣系統的total cost下降。

9.標準採用數位式5軸控制磁軸承。

用途

1.作為大型蒸鍍裝置·大型supatta裝置·各種分析裝置的主排氣用

2.廣域、大流量排氣量的高負荷特性,對應於強腐蝕環境和反應副生成物粘著環境等,可作為製成主要排氣用幫浦。(UTM-FW系列)

3.對應濺鍍、蒸鍍等…沒有反應副生成物的製程時,可以選擇對於H2有高壓縮特性的(UTM-FH系列)

4.各種研究開發·實驗裝置用主要幫浦。

 

 

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