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高真空式油擴散幫浦 |
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型式 |
ULK-04A |
ULK-06A |
ULK-10A |
ULK-14A |
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諸元 |
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作動油品 |
D-11 |
D-31 |
D-11 |
D-31 |
D-11 |
D-31 |
D-11 |
D-31 |
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到達壓力 |
Pa |
<2.6×10-5 |
<2.6×10-6 |
<2.6×10-5 |
<2.6×10-6 |
<2.6×10-5 |
<2.6×10-6 |
<2.6×10-5 |
<2.6×10-6 |
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臨界背壓 |
Pa |
40 |
60 |
40 |
60 |
35 |
40 |
31 |
40 |
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排氣速度 |
L/s |
550 |
500 |
1200 |
1100 |
3400 |
3000 |
5400 |
4900 |
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最大排気量 |
Pa・m3/s |
0.086 |
0.13 |
0.15 |
0.2 |
0.35 |
0.43 |
0.35 |
0.47 |
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作動開始時間 |
min |
9 |
8.5 |
16.5 |
15 |
20 |
20 |
24 |
25 |
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所用電力 *1 |
kW |
0.55 |
0.73 |
0.9 |
1.2 |
2 |
2.4 |
2.25 |
3.15 |
|
作動液量 |
L |
0.15 |
0.15 |
0.35 |
0.35 |
0.8 |
0.8 |
1.5 |
1.5 |
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冷却水量 *2 |
L/min |
1 |
1 |
1 |
1.5 |
2.5 |
3 |
2.5 |
3.5 |
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前級幫浦 |
D-330K、D-240DK、PVD-180 |
D-950K、D-650K、D-330K、VD-301、VD401 |
VS1501、PKS-030、PKS-016、EC803 |
VS1501、VS2401、PKS-030 |
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1.供給的電壓，請於發行訂單時註記 |
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2.冷却水温：入口19℃ 出口29℃ |
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3.排氣性能良好，而且購入的成本低廉，是款商業化的幫浦。 |
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特點 |
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1.可提高臨界前級壓力。 |
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2.~10-2Pa（〜10-4Torr）壓力下排氣效能都非常穩定。 |
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3.該幫浦可以很容易的保養清潔，低保養費用。 |
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4.提供了保護機制，可防止作動的油品洩漏到前級幫浦。 |
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用途 |
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1.各種研究開發·實驗裝置用主要幫浦 |
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2.光學或是裝飾性鍍膜主要採用的高真空排氣幫浦機種。 |
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3.光學或是裝飾性鍍膜主要採用的高真空排氣幫浦機種。 |
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4.真空熱處理爐、燒結爐、硬焊爐 |
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