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魯式幫浦PMB������

魯式增壓幫浦

機型

PMB-001C

PMB-003C

PRC-006A

PRC-012A

PMB-024C

PMB-040B

PMB-060B

項 目

抽氣速率*3

50Hz

95(1580)

280(4670)

500(8330)

1000(16700)

2000(33300)

3800(63300)

6200(103300)

   m3/hL/min

60Hz

115(1920)

330(5500)

600(10000)

1200(20000)

2400(40000)

最大吸入壓力      Pa

50Hz

9.3×103

1.2×103

1.3×103

1.3×103

1.3×103

極限壓力          Pa*1

4.0×101

6.7×101

標準粗抽幫浦

GLD-N280

VDN601

VDN-901

VSN1501

PKS-070

PKS-070*2

VDN301

              

kW () *2 *4

0.42

0.752

2.22

3.7(2)

7.52

154

18.54

V-Hz

380/400/415V-50Hz380/400/440V-60Hz

380/400/415V-50Hz380/400/440V-60Hz

使 用 油

ULVOIL® R-4

所需油量          L

0.35

0.7

1.5

1.9

0.35

0.7

1.5

冷卻水量          L/min*6

空 冷

2

3

24

             kg

22

46

86

118

260

950

1150

吸氣口徑 (JIS B 2290)

相當 VG50

相當 VG80

相當VG100

相當 VG200

相當 VG250

相當VG300

排氣口徑 (JIS B 2290)

相當VF50

相當VF80

相當VF200

相當VF150

相當VF200

*1 用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa3.0×10-4Torr),而PRC-012A則為6.7×10-2Pa5.0×10-4Torr)。

魯式增壓幫浦與油旋片真空幫浦、水環幫浦組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa範圍內提高抽氣速率。
 
這類的魯式增壓幫浦是專為潔淨度要求較高的場合而設計的。

特點

1.結淨的真空

2.腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能

3.能在高吸入壓強下運轉

4.選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運轉

用途

1.照明、電子、光學、半導體

2.鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入

3.真空乾燥、冷凍乾燥、真空脫氣

4.真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐

5.分析儀器、檢漏設備,CO2激光設備

                   

 

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