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魯式增壓幫浦 |
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機型 |
PMB-001C |
PMB-003C |
PRC-006A |
PRC-012A |
PMB-024C |
PMB-040B |
PMB-060B |
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項 目 |
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抽氣速率*3 |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16700) |
2000(33300) |
3800(63300) |
6200(103300) |
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m3/h（L/min） |
60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
2400(40000) |
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最大吸入壓力 Pa |
50Hz |
9.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
1.3×103 |
1.3×103 |
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極限壓力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
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標準粗抽幫浦 |
GLD-N280 |
VDN601 |
VDN-901 |
VSN1501 |
PKS-070 |
PKS-070*2 |
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VDN301 |
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電 機 |
kW (極) *2 *4 |
0.4（2） |
0.75（2） |
2.2（2） |
3.7(2) |
7.5（2） |
15（4） |
18.5（4） |
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V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
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使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
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所需油量 L |
0.35 |
0.7 |
1.5 |
1.9 |
0.35 |
0.7 |
1.5 |
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冷卻水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 |
3 |
24 |
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重 量 kg |
22 |
46 |
86 |
118 |
260 |
950 |
1150 |
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吸氣口徑 (JIS B 2290) |
相當 VG50 |
相當 VG80 |
相當VG100 |
相當 VG200 |
相當 VG250 |
相當VG300 |
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排氣口徑 (JIS B 2290) |
相當VF50 |
相當VF80 |
相當VF200 |
相當VF150 |
相當VF200 |
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*1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而PRC-012A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。 |
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魯式增壓幫浦與油旋片真空幫浦、水環幫浦組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa範圍內提高抽氣速率。 |
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特點 |
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1.結淨的真空 |
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2.腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能 |
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3.能在高吸入壓強下運轉 |
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4.選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現在高吸入壓強下的運轉 |
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用途 |
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1.照明、電子、光學、半導體 |
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2.鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入 |
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3.真空乾燥、冷凍乾燥、真空脫氣 |
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4.真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐 |
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5.分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備 |
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