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研究開發用CVD裝置 CC-
研究開發用CVD裝置 CC-S
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真空計壓力範圍一覽表
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卷取式濺鍍機 SPW
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SCH-135
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金屬成膜設備 ENTRON N
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研究開發用ALD裝置 ALD
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電漿化學氣相沉積 CC/CME
電漿化學氣相沉積 CC/CME系列  
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