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PZT壓電薄膜濺鍍技術的量產設備 開始銷售

發布時間:2019/7/25 瀏覽次數:(80)

簡介:為次世代MEMS Sensor及Actuator提供PZT壓電薄膜濺鍍技術的量產設備 開始銷售 - 為智慧城市的技術進步提供更重要的貢獻

ULVAC解決了自動駕駛和次世代可穿戴終端(智慧眼鏡等)等的MEMS device在開發上的技術問題,可提供PZT壓電薄膜先進的濺鍍設備已開始量產,將開始銷售服務。

隨著5G和AI等技術的進步,預計各行業都將進一步發展電子化的智慧城市,對於產業和生活的便利性的期待,也將會增昇。也因為自動駕駛、AR / VR、安全、智慧手機等將會多功能化,各種Sensor或基於回傳資料驅動各種設備的Actuator,預期需求將會極高幅度的增長。在開發的過程上,迷你化、低功耗、高性能和低成本都是重要的課題。PZT壓電薄膜技術是Sensor及Actuator的關鍵,以往的一般塗佈方法(Sol-Gel)在低溫製程上是無法使用的,ULVAC在2015年已提出業界最新的低溫濺射製程用PZT壓電薄膜技術,並做為次世代MEMS技術,著手更進一步的開發。這次,我們特有的技術又更進一步,大大提昇了裝置實用化所需要的可靠性,並通過優化設備來改善運作成本的同時,也達成世界最高水準的量產技術。將開始銷售服務。這些技術使得可以同時實現MEMS device半導體(CMOS)的融合和迷你化、低功耗、高性能和低成本等,並擴展例如在3D指紋認證等Sensor的應用範圍,智慧眼鏡的空間資訊感測和立體圖像顯示用的Sensor及Actuator也大幅擴展可能性。
 
除濺鍍外,ULVAC還將通過蝕刻、灰化和濺鍍靶材等多種解決方案引領MEMS device技術,做更進一步創新,並將為實現智慧城市提供更重要的貢獻。
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