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1.新發售用於電子部件製造的枚葉式複合模組鍍膜加工機台「uGmni系列」

2021/2/19
2.皮拉尼真空計「SWU10-U」開始銷售

2019/11/7
3.PZT壓電薄膜濺鍍技術的量產設備　開始銷售

2019/7/25
4.ULVAC組件介紹

2019/3/7

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