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◎ 「為何不用真空不行呢?」

第三講「為何不用真空不行呢?」
  到50年前為止還是真空管收音機的時代。因為當時是由真空管來擔任電晶體的功能的。當時使用真空管的電腦是佔據了整個房間的巨大物體。而到了現代,進入積體電路時代,電腦已經縮小到可以放到手掌上的大小。
◎日益重要的真空技術
  電子技術已經完全改變了,沒有變的是支持它的依然是真空技術。近來它的重要性是越來越大。從收音機到手機,電腦,電視等製品,沒有使用到積體電路的製品可以說是沒有。而支持其積體度的就是真空成膜技術。
Column---積體電路是魔法石
◎ULVAC的真空成膜技術
  在洗澡時,抬頭看天花板,會看到有水滴附在上面。把水滴換成鋁等材料,就是真空蒸著技術。 在高真空下,受熱的鋁變成蒸氣,將朝目的物的表面去形成薄膜。若不是在真空的環境下的話,受熱的鋁將會燃燒。
  用舊了的日光燈管的兩端會變黑,這就是濺鍍。將氬等不易反應的氣體一點點注入後再放電,氣體將會離子化,撞擊材料,而令材料變成蒸氣。這就像是在蒸著技術中使用的「熱」,換成氣體分子撞擊的方法。 

  此外,也有利用氣體當做材料,讓它起反應來形成膜的方法(CVD)。每一種成膜法都有其特長,並沒有說哪一種是最好的。而考慮最適合的方法提供給客戶就是ULVAC的真空成膜技術。

 
◎精密技術的大敵─灰塵
  使用真空的理由並非只是成膜上有必要。在精密的膜上,如果沾上了灰塵或是油的話,那就太糟糕了。 積體電路的形狀與粗細,可以以城市和道路寬度的比例來做比方。最新的是道路寬度為萬分之1mm。相對的,即使是香煙的煙也有萬分之3mm的大小,灰塵則是各式各樣從萬分之1mm到1mm。用城市來比喻的話,也有輕型飛機到巨無霸飛機,甚至有還有更大的。如果被這麼大的物體撞到的話,那就不得了了。 在真空中,灰塵無法懸浮在空氣中,是相當乾淨的環境,可以用來製造精密機器。
◎研究領域、最先進技術
  在研究領域中,真空技術也是不可或缺的。在太空研究時,模擬宇宙空間必須用到真空,人工衛星、火箭也需要用到真空技術。連原子都看得見的顯微鏡(掃描式原子探測顯微鏡)若是不在真空下就無法保持表面的狀態。而在物理學的最先端技術中,在粒子加速器內部,為了將粒子加速到幾近光速,必須製造出超高真空狀態。
 
Column---未來之光 有機電激發光顯示器
太空旅行不再是夢的21世紀,ULVAC的活躍的範圍將越來越廣闊。

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